無塵室測試及驗收標準
1-1.測試條件區分：
(A)試車測試(As-built)：無塵室完工及運轉後，製程設備及工作人員尚未進駐時。
(B)靜態測試(At-rest)：無塵室完工及運轉後，製程設備移入但無操作人員時。
(C)動態測試(Operational)：製程設備及操作人員皆於無塵室內正常生產及操作後。
1-2.測試環境及項目：(依據合約規定內容)
(A)氣流風速測試。
(B)洩漏測試。
(C)潔淨度測試。
(D)室內正壓測試。
(E)溫度濕度測試。
(F)噪音測試。
(G)照明測試。
(H)靜電（ESD）測試。
(I)無塵室氣流平行度測試。
1-3.測試規格
(A) U.S. Fedral Standard 209E)
(B) ISO 14644-1
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