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法規資訊
ISO 14644潔淨室國際標準增訂發行。
ISO 14644-9
、
ISO 14644-10
潔淨室及相關控制環境
第
9
、
10
篇
有關表面微塵粒、化學物質潔淨等級的國際標準已於
2013
年
2
、
3
月分別發行，如需詳細資訊請至國際標準組織網站洽詢。
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