無塵室等級標準 – 符合產業生產需求條件的環境
廣義的潔淨室廠房定義
1.潔淨室『平面及空間配置』符合機台操作需求。
2.潔淨室『溫濕度條件』符合機台操作需求。
3.潔淨室『製程供應系統』符合機台操作需求。
4.潔淨室『製程排放系統』符合機台操作需求。
5.潔淨室『正負氣壓條件』符合機台操作需求。
6.潔淨室『潔淨等級』符合機台操作需求。
7.潔淨室『初設成本』考量及『運轉節能』評估。
8.潔淨室的系統運轉穩定性、HEPA生命週期及管理SOP。
9.潔淨室等級符合『FED 209E』及『ISO14644-1』取樣測試標準。
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