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無塵室的規劃設計程序
§ 機電空調及潔淨室生產規劃定案
§ 空調負荷估算
§ 空調主機冰水系統規劃§ 空調冷卻水及熱回收系統規劃
§ 空調熱水備援系統規劃 § 製程排氣系統(空間整合)
§ 空壓/集塵機房管線(空間整合)
§ 廠房潔淨室空調規劃
§ 一般空調系統規劃
§ 製程冷卻水PCW系統規劃
§ 空調動力配電系統(不含高壓)
§ 電腦中央監控系統
§ 全期水電/空調/供排系統管路套合