選擇適合的溫濕控制 -- MAU空調箱濕度控制及正壓控制一舉兩得
1.無塵室內空調負荷經估算確認並排除濕製程區域，可免除濕及再熱功能。
2.無塵室內以分散乾盤管( Dry Cooling Coil )或RAU空調箱控制室內溫度，當MAU穩定供應設定露點之補氣時，室內之相對濕度可隨溫度達到設定值。
3.外氣負荷由MAU空調箱負責預濾、初濾、加濕、除濕、冷卻及再熱處理；以最節能狀況PID設定，達成最佳化恆溫濕控制模式(露點控制模式)。
4.MAU外氣供應風量為滿足潔淨室製程排氣及室內正壓風量，並依據系統風管送風正壓自動控制轉速，以免過度供應外氣浪費能源。
5.無塵室分區設定正壓(10–30Pa)，各區依據室內正壓度自動調整該區RAU空調箱之補氣風門，達成統一供風、分區控制潔淨室正壓之目的。
6.濕製程廠房空調區節能運轉考量；外氣供應系統放寬溫濕度標準。
7.放寬冬季室內溫濕度條件需求，可節約空調暖房及加濕量。
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