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無塵室氣流設計考量因素

無塵室氣流設計考量因素

1.無塵等級要求

2.空氣循環量多寡

3.設備排氣量多寡

4.潔淨室內溫差需求

5.建築空間限制 - 包括回風道、高架地板高度、蜂巢板位置及數量、機台擺設及公用管線

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