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法規資訊
ISO 14644-2：2015版已於 2015.12.9 發行
ISO 14644 潔淨室與相關環境控制第二部份，以監測空氣中微塵粒濃度提供潔淨室性能的佐証2015更新版於 2015.12.9 發行
。?
詳見ISO官網
http://www.iso.org/iso/catalogue_detail?csnumber=53393
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